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Parajumpers Parka Women System zu beurteilen Eine digitale Filtertechnik

Parajumpers Parka Women

In dieser Veröffentlichung beschreiben wir ein Verfahren, das auf dem vorgeschlagenen Vertikalabtastperiode Interferometrie (VSI) zur Messung sowohl des Oberflächenprofils des Mikroauslegers und entsprechende Ätzen der Opferschicht unter dem Cantilever nur eine Abtastung. Eine weiße Lichtquelle beleuchtet einen Mikro -cantilever bei einem bestimmten Einfallswinkel über einen Mirau Interferenzobjektivs. Mit dieser Anordnung wird die Oberseite des Auslegers und einem normalerweise versperrt Oberflächenprofils unterhalb des Auslegers in dem gleichen System zu beurteilen. Eine digitale Filtertechnik basiert auf der Fourier-Transformation und eine Gaußsche fit implementiert sind, um gleichzeitig abzurufen eine Hülle aus zwei in Serie von Parajumpers Parka Women Interferogrammen auf der Oberseite eines Auslegers und sowie Gebiet unterhalb des Auslegers. Die abgerufenen envelope Spitzen, die die Höheninformationen von Punkten auf der Testoberfläche darstellen, geplottet zum gesamten Bereich Oberflächenkontur zeigen und demonstrieren ihre Wirksamkeit als Mittel zur mikroelektromechanische Systeme (MEMS) Dual / Multi-Layer-Kontrolle. Die erhaltenen Parajumpers Gobi Leder Ergebnisse stimmen gut mit denen eines kommerziellen Instruments und zeigen, dass das vorgeschlagene Verfahren ist einfach und präzise .
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